案例1:半导体封装超纯水杜邦DUPONT AmberTec UP6150H/OH树脂安装

 案例1 :半导体封装超纯水杜邦DUPONT AmberTec UP6150H/OH树脂安装

半导体芯片封装超纯水终端系统安装杜邦DUPONT AmberTec UP6150H/OH离子交换树脂,该款可分离均粒床混树脂,专为芯片精密处理设计。罐体、导管采用蒸镀+无氧超纯水漂洗,实现金属离子与微颗粒。罐内预注超纯水,密闭无尘装填杜邦DUPONT AmberTec UP6150H/OH树脂,控制流速平缓,无破碎、无结。反洗膨胀理顺床层,正向惰性冲洗活化,监测出水电阻率≥18.2MΩ·cm TOC≤3ppb 。杜邦DUPONT AmberTec UP6150H/OH树脂均粒性好、压降,叠加残余离子,改良芯片封装高纯水需求。

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